Революционная технология микрообработки стекла
24.11.2017189

Немецкая компания LPKF Laser & Electronics AG получила престижную награду Productronica Innovation Award 2017 в категории полупроводников за технологию LIDE. Награждение состоялось во время проходившего в Мюнхене биеннале productronica-2017.

lide-productronica-award-3

Разработанная LPKF технология глубокого травления стекла с помощью лазерного излучения представляет собой комбинацию лазерной обработки и химического травления и открывает новые потенциальные возможности применения стекла в технологиях изготовления полупроводниковых приборов и микросистем.

Стекло представляет большой интерес в качестве материала для применения в электронной отрасли благодаря широкому диапазону свойств для различных применений в технологии микросистем. В частности, последние разработки в направлении сверхтонких и частично гибких стекол с толщиной материала от 50 мкм до 500 мкм открывают новые области применения одного из самых старых материалов, производимых человеком.

В то же время, обработка стекла является нетривиальной технологической задачей, особенно тонких и сверхтонких стекол. Проблемой является возникновение микротрещин и теплового напряжения, как следствия химической, термической и механической обработки, что приводит к относительно высокой вероятности разрушения стекла и отказа созданных на его основе компонентов. Этот факт ограничивает использование стекла в технологиях производства электронных компонентов и микросистем.

Разработчики из LPKF Laser & Electronics AG взялись решить эту проблему и, судя по всему, преуспели. В основе разработанной технологии обработки тонкого стекла лежит процесс лазерной индукции с последующим химическим травлением. Короткий лазерный импульс изменяет микроструктуру стекла локально в месте последующей химической обработки. Процесс LIDE позволяет вытравливать сквозные отверстия и фигурные контуры без возникновения микротрещин или термических напряжений.

lide-productronica-award-2

Естественно, лидер в производстве современного лазерного оборудования для электронной отрасли, разрабатывая технологию, в первую очередь был заинтересован в ее прикладном значении. Разработанный немецкими инженерами лазерный комплекс LPKF Vitrion 5000, собственно, и является результатов кропотливого труда отдела разработки LPKF Laser & Electronics AG.

Высокоточная лазерная машина способна обрабатывать лазерным излучением сверхтонкие стеклянные платины размером до 510 x 510 мм (20” x 20”) или диаметром до 20”, толщиной до 500 мкм. Быстродействие системы – модификация микроструктур стекла для последующего вытравливания до 5000 микроотверстий в секунду или для последующей фигурной резки со скоростью до 100 мм/с. Скорость не зависит от толщины стекла. Точность достигает ±5 мкм. После модификации материал перемещается в ванны с химическим раствором.

lide-productronica-award-1

Процесс LIDE устанавливает новые стандарты качества и производительности при обработке сверхтонких стекол и прогнозируемо должен стать новой базовой технологией при изготовлении микросистем, а возможно, даже трансформировать производственные процессы и технологии в производстве электронных компонентов и систем. Например, тонкое стекло является прекрасным материалом для изготовления подложек в микроэлектронике. Также материал интересен для использования в МЭМС-системах. Одним из перспективных направлений является использование стекла для изготовления микрофлюидных чипов (МФЧ).

К слову, одними из первых немецких коллег поздравили с получением престижной награды сотрудники фирмы VD MAIS, также принимавшие участие в выставке productronica-2017 в Мюнхене и представлявших на крупнейшей выставке технологий для электронной промышленности спектр услуг одного из крупнейших контрактных производителей электронных модулей в Украине.


vd-mais-professional-distributor

Чтобы получить детальную информацию о современном оборудовании для производства печатных плат, а также для контрактного производства электроники, обратитесь к специалистам отдела оборудования и материалов компании НПФ VD MAIS, официального дистрибьютора продукции LPKF Laser & Electronics AG в Украине.