Останніми роками фотонні або оптичні ІМС та пристрої фотоніки показують швидкий розвиток завдяки постійному зростанню попиту на високош- видкісну передачу даних, засоби зондування, медичні прилади, оборонні програми та інші. Оскільки фотонні інтегральні схеми стають все більш складними, проблема корпусів для таких ІМС стає все більш критичною. У цій статті розглянуто різні аспекти корпусів для інтегрованих фотонних пристроїв, включаючи волоконний зв’язок, лазерну та електронну інтеграцію, управління температурою та особливості проєктування таких засобів.
П. О’брайен
На сьогодні галузь ІМС для фотоніки переживає величезний розвиток. Фотонні інтегральні мікросхеми стають все більш складними, проблема проєкту- вання корпусів цих пристроїв стає все більш критичною. Корпуси відіграють важливу роль у забезпеченні належного функціонування, надійності та життєздатності інтегрованих фотонних пристроїв.
Оптична інтеграція або оптичне з’єднання. Однією з головних проблем корпусів ІМС фотонних пристроїв є забезпечення ефективного зв’язку між субмікронними хвилеводами ІМС та оптичним волокном. Існує два основні підходи до з’єднання волокон або пристроїв оптичного зв’язку між волокном і кристалом: крайове з’єднання, яке забезпечує зв’язок світла у площині за рахунок прямого вирівнювання між волокном та гранями інтегрованого хвилеводу; та ґратчасте або решіткове з’єднування, при якому оптичне волокно розташоване перпендикулярно площині кристала, рис. 1, 2.

Рис. 1. Оптичне з’єднання

Рис. 2. Оптичне з’єднання волокна з кристалом
Крайове з’єднання є досить простим, але вимагає точного вирівнювання та часто призводить до високих втрат через невідповідність мод між волокном і хвилеводом.
Решіткове з’єднання передбачає використання структури дифракційної решітки у фотонній ІМС для вертикального з’єднання потоку світла між хвилеводом і оптичним волокном. Цей підхід забезпечує послаблення допусків на центрування та, як правило, може забезпечити менших втрат на зв’язок. Однак це вимагає ретельного проєктування та виготовлення спеціальної конструкції решітки.
Дослідники з Tyndall National Institute розробили методику ефективного з’єднання решіток за допомогою полірованих під кутом волокон. Ця технологія забезпечила низькі внесені втрати до 1 дБ ± 2 мкм у широкому діапазоні довжин хвиль для кремнієвих фотонних хвилеводів.
Для з’єднання волокон з високою щільністю волоконно-матричні масиви можна з’єднувати з фотонною ІМС за допомогою методу складання фліпчі- пів (метод складання фліпчіп – це метод перевернутого чіпу). Цей підхід передбачає точне вирівнювання та приєднання волоконного масиву до фотонної ІМС з використанням методу активного вирівнювання та застосуванням спеціалізованого технологічного обладнання, рис. 3.

Рис. 3. З’єднання оптичної матриці з кремнієвим кристалом
Багато інтегрованих фотонних проєктів вимагають інтеграції лазерних джерел із фотонними ІМС. Ця інтеграція створює кілька проблем, зокрема точне оптичне вирівнювання, управління температурою та електричне з’єднання. Один із підходів до лазерної інтеграції передбачає використання кулькових лінз і оптичних отворів, рис. 4, 5. Кулькові лінзи повинні бути точно вирівняні та встановлені на фотонну ІМС, а оптичні отвори забезпечують шлях для вертикального з’єднання лазерного променя з ІМС.

Рис. 4: Оптичне з’єднання ІМС з лазером
Для інтеграції лазерів з фотонною ІМС можна використовувати спеціалізоване обладнання, яке забезпечує електричні з’єднання, управління температурою та відповідні оптичні шляхи для ефективного з’єднання лазера, рис. 5.

Рис. 5. Спеціалізоване обладнання для з’єднання лазера з фотонною ІМС
Дослідники з Tyndall National Institute розробили гібридну інтеграцію лазера (з регульованою довжиною хвилі) з кремнієвою фотонною ІМС, рис. 6.

Рис. 6. Технологія з’єднання лазера з фотонною ІМС
Більшість інтегрованих фотонних пристроїв потребує електронних компонентів для управління, модуляції та контролю. Інтеграція звичайних ІМС з фотонними ІМС є важливою для створення функціонально завершених та компактних систем. Один із підходів до такої інтеграції включає методи складання типу фліпчіп, де звичайні ІМС з’єднуються з фотонними ІМС. Такий підхід забезпечує високу щільність електричних з’єднань і дає можливість створити спільний корпус для розміщення в ньому як фотонних, так і електронних компонентів, рис. 7.

Рис. 7. Об’єднання електронних та оптичних компонентів у фотонній ІМС
Спеціалізовані багатошарові друковані плати можна використовувати для маршрутизації електричних сигналів і надання додаткових функцій, таких як управління температурою. Спеціальна технологія з обладнанням для безфлюсового паяння показана на рис. 8.

Рис. 8. Спеціальна технологія безфлюсового паяння
Управління температурою має вирішальне значення для підтримки продуктивності та надійності роботи фотонних ІМС. Такі методи, як термоелектричні охолоджувачі і активне охолодження з використанням радіаторів або рідинних каналів, можуть бути використані для розсіювання тепла та підтримки оптимальної робочої температури фотонних ІМС і відповідних електронних компонентів. Приклади таких пристроїв наведені на рис. 9.

Рис. 9. Плати з фотонними ІМС і температурним контролем
Унікальні можливості інтегрованої фотоніки відкриваються у медичній галузі в приладах для діагностики. Одним із таких застосувань є розробка аналізаторів кровотоку з використанням оптичних волокон, вбудованих у судини. На рис. 10 наведені компанії, які виробляють медичні прилади на основі фотонних ІМС, наприклад, для доплеровських досліджень судин та визначення жорсткості та наявності стенозу судин, рис. 10.

Рис. 10. Інтеграція фотонних ІМС у медичні пристрої виробництва різних компаній
Дослідники з Tyndall National Institute розробили інноваційні методи інтеграції оптичних волокон, зберігаючи при цьому необхідну гнучкість і розміри для моніторингу стану кровоносних судин. Ці пристрої дозволяють у режимі реального часу контролювати кровообіг і можуть допомогти в діагностиці та лікуванні судинних захворювань, рис. 11.

Рис. 11. Вбудована у стегнову артерію фотонна ІМС для дослідження стану судин
Оскільки інтегровані фотонні пристрої стають складнішими, потреба в стандартизованих інструкціях і настановах, засобах проєктування та відповідних послугах для розробників фотонних ІМС стає важливою та актуальною. Об’єднання європейських підприємств інтегрованої фотоніки (European Integrated Photonics Foundries) пропонує комплексну платформу для надання послуг з проєктування та виготовлення фотонних ІМС, включно їх корпусів. Основні підприємства цього об’єднання наведені на рис. 12.

Рис. 12. Європейські підприємства з виробництва фотонних ІМС
Комплекти апаратно-програмних засобів для проєктування та відповідні інструкції з проєктування фотонних ІМС мають важливе значення для забезпечення сумісності кристалів фотонних ІМС з корпусами, включно процеси складання кінцевого виробу. Ці інструкції охоплюють такі аспекти, як з’єднання волокон, електронну інтеграцію, засоби управління температурою тощо. Дотримуючись рекомендацій цих інструкцій та використовуючи послуги та настанови Об’єднання європейських підприємств з інтегрованої фотоніки, розробники фотонних ІМС мають змогу уникнути коштовних і трудомістких проблем із виготовлення корпусу такої ІМС та спростити шлях кінцевого виробу від ідеї до ринку .
ВИСНОВКИ
Розробка корпусу фотонної ІМС є критично важливим аспектом, який дозволяє реалізувати високопродуктивні, надійні та життєздатні фотонні прилади та системи. У статті розглядаються різні аспекти розробки фотонних ІМС, а саме проблеми з’єднання волокон, лазерна інтеграція з електронними компонентами, управління температурою, приклади медичних пристроїв на основі фотонних ІМС, про- єктування корпусів, а також перелік послуг включно інструкції та настанови з проєктування, які можна отримати від Об’єднання європейських підприємств з інтегрованої фотоніки. Оскільки галузь фотонних ІМС досить швидко розвивається, оптимізація корпусів таких ІМС відіграватиме важливу роль у розкритті повного потенціалу кінцевих пристроїв для широкого спектру застосування, а саме у засобах телекомунікацій, оптичних датчиках, медичній та оборонній апаратурі тощо.
ЛІТЕРАТУРА
- Packaging of micro-lens arrays to photonic integrated circuits using beam shape evaluation. Kamil Gradkowski, Padraic E. Morrissey and Peter O’Brien. https://www.researchgate.net/publication/381709770 _Packaging_of_micro-lens_arrays_to_photonic_inte- grated_circuits_using_beam_shape_evaluation