Електронні компоненти і системи 
Параметры сенсоров влажности, предназначенных для применения в промышленности, приведены в таблице. Это полимерные или пленочные сенсоры конденсаторного или резистивного типа . Сенсоры на основе термореактивного полимера, в отличие от термопластических сенсоров, обладают высокой устойчивостью к агрессивным химическим средам. Оба типа сенсоров устойчиво работают в широком диапазоне температур, имеют малое время отклика, высокую линейность и временную стабильность передаточной характеристики. Как следует из таблицы, все сенсоры конденсаторного типа имеют широкий диапазон рабочих температур и, как правило, не требуют температурной компенсации.
Таблица сравнительных параметров сенсоров влажности
| Наименование параметра | Тип сенсора | |||||
| Термореактивный полимерный | Термопластичный полимерный | Термопластичный полимерный | Объемный термопластичный | Алюмооксидный объемный | Пленочный (хлорид лития) | |
| Тип ПОДЛОЖКИ | Керамическая или кремниевая | Керамическая, кремниевая или стеклянная | Полиэфирная или ПЭТФ- пленка | Без подложки | Без подложки | Керамическая |
| Изменяемая величина | емкость | проводимость | ||||
| Измеряемый параметр | относительная влажность, % | |||||
| Диапазон, % | 0…100 | 0…100 | 0…100 | 20…100 | 2…90 | 15…100 |
| Погрешность, % | ±1 …±5 | ±3…±5 | ±3…±5 | ±3…±10 | ±1 …±5 | ±5 |
| Линейность, % | ±1 | ±1 | ±2 | низкая | низкая | низкая |
| Гистерезис, % | 1…3 | 2…5 | 2…5 | 3…6 | 2 | большой |
| Время установки | 15…60 с | 15…90 с | 15…90 с | 2…5 мин. | 3…5 мин. | 3…5 мин. |
| Диапазон рабочих температур, ℃ | -40… 185 | -30… 190 | -25… 100 | 10…40 | -10…75 | — |
| Температурная погрешность, %/0С | -0.0022 | 0.3 | 0.3 | 1 | 1 | 1 |
| Временная нестабильность, %/год | ±0.2 | ±1 | ±1 | ±3 | ±3 | 1 |
| Устойчивость к загрязнениям | очень высокая | высокая | высокая | высокая | высокая | высокая |
| Устойчивость к конденсации влаги | очень высокая | высокая | высокая | высокая | высокая | высокая |
Их можно использовать для измерения влажности атмосферного воздуха, а также при производстве лекарств, пищевых продуктов, в нефтехимической промышленности и т. п. Погрешность выпускаемых в настоящее время сенсоров влажности находится в пределах нескольких процентов. Это тот предел, который обеспечивают со- временные технологии. Поэтому не следует предъявлять слишком жесткие требования к точности измерения влажности. Влажность материалов в узком диапазоне температур может быть измерена с точностью не более ±(0.1-0.3) %, а относительная влажность атмосферного воздуха − с точностью ±0.5 %, причем эти показатели обеспечиваются с помощью сложного лабораторного оборудования .
Пленочные и полимерные сенсоры отличаются не- высокой стоимостью, высокой технологичностью и широко применяются в промышленности и бытовой аппаратуре.
ЛИТЕРАТУРА:
1. Dave Harrold. Measuring relative humidity. − Control Engineering Europe, V. 3, No 5, p. 24:25.
2. Измерения в промышленности. Справочное изд. в 3:х кн. Кн.
3. Способы измерения и аппаратура. М., Ме: таллургия, 1990, 344 с.
